USHIO

光技術情報誌「ライトエッジ」No.21(2001年4月発行)

本誌寄稿

低圧水銀フラットパネル(Form An Arc Lamp)のご紹介

ウシオ電機(株)
高見和朋

図1 低圧水銀フラットパネル

ウシオ電機で開発した、フラットパネルタイプの低圧水銀灯をご紹介します。
低圧水銀ランプは、エレクトロニクス分野の光化学反応や光殺菌分野を初めUV 酸化処理、計測器等、非常に広範囲な業界で使用されています。
この中で、表面に対して非常に均一で高出力な照射が可能なフラットランプのニーズが非常に高まって来ました。
これらの要望に対応できるよう、上記低圧水銀フラットパネル(上記写真)を開発しました。
尚、波長分布は一般の低圧水銀ランプと同様の波長分布を示します(主波長253.65nm )。
今回、開発したランプは、全く新しい材料、製造工程を用いることにより、次のようなメリットが得られます。

1.均一度の高い光分布

新しい製造方法の採用によって、アーク間のスペースを狭くすることができるため、非常に均一度の高い光分布を示します。

図2 ランプ発光時

2.非常にコンパクトな光源

外観形状が82mm x 82mm x 6mm と非常にコンパクト

3.高い照射強度

非常にコンパクトな形状の中に、最大で275Wまでの入力が可能

図3 ランプ発光照度分布(照射距離:10mm)

4.光学設計の自由度の向上

ランプの外観強度の向上により、リフレクターへの搭載も可能

図4 ランプ形状

5.ランプ外観部の強度向上

液浸で使用の場合でも外観強度が高い丈夫な構造

■対応可能な用途

  • ・ UV /オゾン洗浄
  • ・ LCD バックライト
  • ・ 光化学反応
  • ・ 純水製造
  • ・ 半導体のウェハー処理
  • ・ 蛍光観察

表1 ランプ仕様

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