第82回応用物理学会秋季学術講演会

オンライン(2021)

GHzバーストモードレーザーを用いたSiウェハの高速加工

山崎　祐¹，影林　由郎¹，藤本　靖<sup>2


1</sup>ウシオ電機株式会社
²千葉工業大学