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紫外線の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) 半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

■取扱説明書や仕様書はこちら(会員登録が必要です)

プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」 プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」

世界初ランプ方式の真空紫外平行光アライナー。
真空紫外光による親水化パターニング方式により従来のリソグラフィープロセスに比べ大幅な工程短縮を実現すると共に印刷方式では得られない微細パターン形成を実現します。有機トランジスタ、ウェアラブルセンサー、バイオデバイスなど新しい領域の実現へ道を開きます。また、新開発の高輝度パルス光源(PAT出願中)を平行光化することで、L/S=5/5μm以下の解像性能を実現。大面積化のご相談も承ります。
※使用レジスト:東京応化工業株式会社製:TArF-P6111(膜厚260nm)

検査用光源ユニット「arctruth」 検査用光源ユニット「arctruth (旧オプティカルモデュレックス、230VILS)」

“見たいものが正確に見える”ことが必須の検査プロセスにおいて、特に「検査のプロフェッショナルユース」をコンセプトとした光源ユニットです。

カタログを見る PDF(3.71MB)

多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】

UV-LED 均一ライン照射光源「UniLine」 UV-LED 均一ライン照射光源「UniLine」 ・複数波長に対応した、高照度で均一性の高いUV照射が可能なライン光源。 ・独自の光学設計で10mmから最大150mmまでの多様な照射距離に対応。 ・ワークサイズ、用途に応じて照射長をカスタマイズが可能です。
UV-LED 均一面照射光源「UniField」 UV-LED 均一面照射光源「UniField」 ・複数波長から選択可能な、大面積、高照度で均一性の高いUV-LED照射ユニット。 ・ウシオ独自のレンズを搭載することで、照射距離が伸びることによる照度低下を抑えることに成功。  厚みの異なる様々なワークへも微調整なしに照射が可能です。 ・□100、150、200を標準サイズとしてラインナップ ・複数波長混合タイプも設計可能です。
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」 印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」 ウシオのUniJetシリーズは、紫外線硬化や印刷に関わる市場の厳しい要求を満たすために最適に設計・開発されたUV-LEDモジュールです。 UniJetシリーズは従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源であり、このモジュールが併せ持つ水冷、空冷、調光の様々な機能によって、それぞれのお客様が求める仕様やニーズを確実に実現することができます。
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