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紫外線の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

表面処理用エキシマ照射装置のご紹介

■取扱説明書や仕様書はこちら(会員登録が必要です)

LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED  Multi 「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、 i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、 LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。
各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 ウシオのUV-LEDは高照度、高積算光量、長寿命、低電力、瞬時点灯/瞬時消灯を実現。 弊社はこれまで培った光学技術や冷却技術を用いた自由度のある設計が特徴です。 電源や制御部を含めたトータル提案を行い、紫外線に関わるあらゆる問題を解決するシステムを提供させて頂きます。
抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置「Care222® i(アイ)シリーズ」 有人環境でも使用可能な抗ウイルス・除菌技術「Care222®」を搭載した紫外線照射装置です。 一般的な照明器具に近い設置が可能で、従来の紫外線照射装置では出来なかった、有人環境での“環境表面と空気”の抗ウイルス・除菌を実現しました。
ウシオのレーザーモジュール レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。
EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) 半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。
検査用光源ユニット「arctruth」 検査用光源ユニット「arctruth (旧オプティカルモデュレックス、230VILS)」

“見たいものが正確に見える”ことが必須の検査プロセスにおいて、特に「検査のプロフェッショナルユース」をコンセプトとした光源ユニットです。

カタログを見る PDF(3.71MB)

多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】

面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」シリーズ 面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」 ウシオの「UniCube Mシリーズ」は、UV感光樹脂を用いた接着・硬化・剥離用途で使用される面一括照射タイプのUV-LED照射器です。 前後左右4方向に連結させるセミカスタオーダー方式を採用することで、面一括照射タイプでご要望の多い様々なワークサイズへの対応や高い照度による高スループット、 早期復旧・高いメンテナンス性がご提供可能になりました。 各種サイズのデモ機をご用意しておりますので、お客様のワークを用いた照射実験が可能です。 UVランプからの置き換えや新規プロセスへのご検討に、是非ご活用ください。
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」 印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」 ウシオのUniJetシリーズは、紫外線硬化や印刷に関わる市場の厳しい要求を満たすために最適に設計・開発されたUV-LEDモジュールです。 UniJetシリーズは従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源であり、このモジュールが併せ持つ水冷、空冷、調光の様々な機能によって、それぞれのお客様が求める仕様やニーズを確実に実現することができます。

『ラベル新聞』2023年3月15日号 PDF(1.4MB)

『ラベル新聞』2022年3月15日号 PDF(1.25MB)

『ラベル新聞』2021年9月1日号 PDF(1.04MB)

『ラベル新聞』2021年3月15日号 PDF(1.24MB)

『ラベル新聞』2020年4月15日号 PDF(1MB)

『ラベル新聞』2019年9月15日号 PDF(4MB)

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