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オールインワン オンサイト卓上検査装置 |
ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。
光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
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LED素子/パッケージ |
ウシオのチップ技術(設計・エピタキシャル成長・デバイスプロセス)とパッケージ技術(工学設計・熱設計)を最大限に活用したLED素子/パッケージです。
お客様の新製品や新プロジェクトの開発の初期段階から協業します。カスタム対応も可能です。 |
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ウシオのレーザーモジュール |
レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。
またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。 |
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高輝度白色光発生技術(LDP)とは? |
ウシオの高輝度白色光発生技術(Laser Diode pumped Phosphor: LDP)はレーザダイオードと蛍光体の組合せで、LEDを大きく上回る輝度の白色光を発生させる技術です。
独自の高効率・高耐候蛍光体と最新のレーザーダイオードの組合せにより白色LEDのおよそ5倍の輝度を達成。高輝度ランプ並みの輝度と固体光源ならではの長寿命、パルス点灯可能などの特徴を兼ね備えた光源です。
レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。
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マルチカラーレーザーモジュール Novalumの波長カスタム |
Novalumシリーズは複数LDの搭載により多波長・ハイパワー出力を実現したモジュールです。搭載する波長は375nm~1075nmの範囲でご用途に合わせて組合せカスタムが可能です。ご希望の複数波長のレーザー光を1本の光ファイバーから出力できます。各波長独立制御も可能で、あらゆるご用途のレーザー照明を実現します。各波長で得られる出力(LD1個当たり)についてはデータシートをご覧ください。 |
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高輝度白色光発生技術「LDP」の特長は? |
ウシオのレーザ励起蛍光光源(LDP)の特性は放電ランプとLEDの「いいとこどり」をしたものと言えます。ランプと同等の輝度とLEDの特徴である高効率・瞬時点灯性・パルス点灯性・長寿命等を併せ持っています。
レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。 |
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ウシオの固定式蛍光体プレート |
レーザ励起蛍光光源(LDP)の蛍光体は冷却を目的として回転ホイール式が使われることがほとんどです。一方ウシオのLDPは独自の固定プレート式を採用。完全振動フリー、究極のコンパクトネス、高い防塵性を実現しています。固定式で問題となる排熱と光取出し効率の問題を独自のプレート構造でクリアし、高輝度・高出力白色光の発生を実現しています。
レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。 |
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高輝度白色光だからできること |
LEDの5倍の輝度を発生するレーザ励起蛍光光源(LDP)は光学系との組合せにより、LEDでは実現できない様々な使い方が可能です。その一つは光ファイバ導光。特にLEDが不得意な細径光ファイバ導光を遥かに高い効率で実現可能です。またLDPは質の良い平行光の発生も得意。これらの特長活かしたアプリケーションが広がっています。
レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。 |
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高輝度白色光のアプリケーション |
レーザ励起蛍光光源(LDP)はその高輝度光の特性を活かした様々な用途に展開しています。インダストリアル用途における各種検査照明や耐光性試験、ファイバスコープといった用途や照明の中でもサーチライトや船舶照明、ファイバライティングといった特殊照明用途への応用が図られています。さらにバイオメディカル用途では高効率ファイバ導光が可能であることから各種内視鏡、顕微鏡用途に最適です。 |
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15,000ルーメン高輝度白色光源モジュール |
ウシオの高輝度白色光発生技術(Laser Diode pumped Phosphor: LDP)を用いた汎用の高輝度白色光源モジュール。レーザーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクト(160×125×100mm)な筐体にパッケージング。各種機器への組込み用に最適です。最大15,000lmの高輝度・大光量白色光を出力します。高照度照明、サーチライト、ファイバ光源などに最適な光源です。 |
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スペクトル設計自在なLDP+LEDハイブリッド光源 |
レーザーを用いた高輝度白色光源(Laser Diode pumped Phosphor: LDP)とLEDの出力を同軸合成・出力するモジュール/システム。LEDは最大4波長から選択でき、高輝度なLDPの光と合成して出力します。高輝度に加えて演色性や特定波長の出力が必要な用途に適しています。光源モジュールの形態に加え、駆動ドライバ・冷却・操作パネルも備えた光源システムでのご提供も可能です。 |
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高密度実装マルチチップLEDパッケージ(MACs) |
ウシオのMulti Arrayed Chipsパッケージ(MACs)は、複数のLEDチップを極限まで高密度に実装した製品です。チップ間距離(ストリートピッチ)を極限まで小さくしています。高光束密度が必要なファイバ導光、高照度照明に最適です。複数チップの中心波長を揃える、あるいは異種チップを混載するなど様々なカスタムが可能です。 |
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TECビルトインTO-56パッケージ |
超小型のペルチェクーラー(TEC)をTO-56にビルトインしたLDパッケージです。LDチップの直近に配置されたTECと同じく内蔵したサーミスタにより精密な温調が可能です。外付けTECを省略できることで、システムの簡略化・ダウンサイジングにも寄与します。ご希望の波長・出力にカスタム対応可能です。 |
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TECビルトインバタフライパッケージ |
超小型のペルチェクーラー(TEC)をビルトインしたLDバタフライパッケージです。LDチップの直近に配置されたTECと同じく内蔵したサーミスタにより精密な温調が可能です。外付けTECを省略できることで、システムの簡略化・ダウンサイジングにも寄与します。ご希望の波長・出力にカスタム対応可能です。 |
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[開発中] バイオメディカル用V/C/R 3波長超小型パッケージ(Bio-TOSA) |
バイオメディカル用途に適した405/488/640nmのLDチップを搭載し独自のモノリシック合波素子により3波長を1本のシングルモードファイバーから出力する体積0.5ccの超小型パッケージです。合波調整の省略、システムのダウンサイジングに寄与します。モノリシック合波素子の採用により軸ズレが無く、メンテナンスフリーを実現します。 |
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EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) |
半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。
ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。 |
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検査用光源ユニット「arctruth (旧オプティカルモデュレックス、230VILS)」 |
“見たいものが正確に見える”ことが必須の検査プロセスにおいて、特に「検査のプロフェッショナルユース」をコンセプトとした光源ユニットです。
カタログを見る PDF(3.71MB) |
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超高圧UVランプ(~500W) |
ウシオの超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、特に3線(436nm・405nm・365nm)を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。
アークサイズが極めて点光源に近いため、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。 |
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クセノンショートアークランプ(~500W) |
クセノンランプは、キセノンガスを封入した高輝度な点光源です。
可視域~赤外域までに昼光に類似した連続スペクトルを有し、演色性に優れています。
ソーラーシミュレーターやウェザーメーター、さらに分光分析や顕微鏡などの各種計測機器用光源として活用されています。 |
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コンパクトクセノンランプ |
ウシオ独自の最適化設計にもとづき開発されたUXRTMシリーズは、セラミック&サファイヤを主要部材とし耐衝撃性・耐圧性に優れたクセノンランプです。主な特色としては小型/軽量かつコンパクトなランプで、高演色性の光を効率よく取り出せるミラー一体型により、わずらわしい光軸調整も不要な構造です。
また、ウシオ独自のサファイヤ窓部構造によってランプ直置きも可能な形状です。 |
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Deep UVランプ |
キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。
230nm~320nm付近の中紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。 |
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