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検査の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
test オールインワン オンサイト卓上検査装置 ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。 光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
LED素子/パッケージ ウシオのチップ技術(設計・エピタキシャル成長・デバイスプロセス)とパッケージ技術(工学設計・熱設計)を最大限に活用したLED素子/パッケージです。 お客様の新製品や新プロジェクトの開発の初期段階から協業します。カスタム対応も可能です。
透過型回折格子 回折格子は、多波長の光が重ね合わされた光(白色光源)からの放射を波長ごとに分光する波長分散用光学素子です。 ウシオでは、これまで培ってきた光源・光学・露光技術を活かし、微細加工技術を応用した光学素子の開発に取り組んでいます。 8インチの合成石英ウエ―ハ表面にフォトリソプロセスにより微細構造を形成し、表面レリーフ型の透過型の回折格子を製作いたします。 なお、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
マイクロレンズアレイ マイクロレンズアレイ(Micro Lens Array)は㎛オーダーの大きさのレンズが面上に配列した光学レンズの一種で、設計に応じて光を集光、拡散、平行化、均一化することができます。 またレンズの大きさが㎛オーダーであるため、集光距離は㎜オーダーとなり、システムの小型化や薄型化が可能です。 例えば集光用途では、カメラレンズから取り込んだ光をイメージセンサ―にマイクロレンズアレイで集光させることで、個々の画素に正確な光情報を集めることが来ます。また、拡散用途では微小光源から放射された光を効率よく拡散させることが可能になります。 ウシオでは、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
ウシオのレーザーモジュール レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。
EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) 半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。
検査用光源ユニット「arctruth」 検査用光源ユニット「arctruth (旧オプティカルモデュレックス、230VILS)」

“見たいものが正確に見える”ことが必須の検査プロセスにおいて、特に「検査のプロフェッショナルユース」をコンセプトとした光源ユニットです。

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超高圧UVランプ(~500W) 超高圧UVランプ(~500W) ウシオの超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、特に3線(436nm・405nm・365nm)を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。 アークサイズが極めて点光源に近いため、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。
クセノンショートアークランプ(~500W) クセノンショートアークランプ(~500W) クセノンランプは、キセノンガスを封入した高輝度な点光源です。 可視域~赤外域までに昼光に類似した連続スペクトルを有し、演色性に優れています。 ソーラーシミュレーターやウェザーメーター、さらに分光分析や顕微鏡などの各種計測機器用光源として活用されています。
コンパクトクセノンランプ コンパクトクセノンランプ ウシオ独自の最適化設計にもとづき開発されたUXRTMシリーズは、セラミック&サファイヤを主要部材とし耐衝撃性・耐圧性に優れたクセノンランプです。主な特色としては小型/軽量かつコンパクトなランプで、高演色性の光を効率よく取り出せるミラー一体型により、わずらわしい光軸調整も不要な構造です。 また、ウシオ独自のサファイヤ窓部構造によってランプ直置きも可能な形状です。
Deep UVランプ Deep UVランプ キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。 230nm~320nm付近の遠紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。
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