遠紫外放射

far ultraviolet radiation, vacuum ultraviolet radiation, extreme ultra-violet radiation, deep ultraviolet radiation  えんしがいほうしゃ

解説

遠紫外放射とは、空気による吸収が始まる波長域から軟X線波長域までの紫外放射のこと。日常的には、遠紫外線と呼ばれることが多い。
波長範囲についてはさまざまな用例があるが、10nmから200~220nmの間までの波長域とすることが多い。遠紫外領域を、真空紫外領域よりも長波長の領域まで含め、250nmくらいまでとすることもある。
紫外放射を参照。
+N31F30:R31F30:P31F30:O31F30:L31F30:K31F30:K30F30:J30F30:I30F30:H30

※波長250、300、350nm以下の紫外放射を深紫外放射またはディープUV(Deep-UV、DUV)と呼ぶこともある。この言葉は、もともとIBMのDr.Linが使った言葉で、彼の概念では200~300nmの波長域であった。