光技術情報誌「ライトエッジ」No.39(2013年6月発行)
SPIE Lithography 2013
(February2013)
A Reality In The Making
Progress in LDP Technology
Masaki Yoshioka
1101
論文を探す
キーワード
掲載誌:ライトエッジ No.39
今号では、各種の光源(半導体露光用EUV、複写機用LED、高輝度・長寿命・高安定のLDLS、光加熱用ハロゲンヒータなど)や、光の装置・システム(インターポーザ基板用露光装置、スマートフォン・タブレット端末用UVキュア、新規蛍光免疫素子Q-bodyによる薬物検出システムなど)など、2012年春から2013年春にかけて発表した技術や市場動向の論文15件を掲載しました。
シリーズ「大学研究室を訪ねて」では、新しい機能性タンパク質と有機メソッドの創製に挑む、東京工業大学資源化学研究所の上田先生をお訪ねし、開発に成功され、今、話題を集めているQ-bodyを用いた免疫測定法をご紹介しております。
(2013年06月)