この論文を印刷する (2016.10)IMAPS2016 Volume 2016, Issue 1 Improvement of Coherency of the Panel Level Package by Integrated Dry Process Shinichi Endo, Tomoyuki Habu, Akira Aiba, Hiroko Suzuki, Noritaka Takezoe, Hiroki Horibe, Kazuki Arikawa, Masaki Miura, Hajime Kikuiri, Shintaro Yabu Ushio Inc., 2016年10月アメリカパサデナで開催されたｉＭＡＰＳでの発表論文です。フォトデスミアとスパッタシードを組み合わせたインテグレーテッドドライプロセスの提案をパネルレベルパッケージ向けに初めて行いました。 Article published for iMAPS held in October 2016 in Pasadena, USA that presents the first proposal for an integrated dry process that combines photodesmearing and sputtered seed processes for panel level packages. 論文はコチラ（外部サイトへジャンプします） 関連製品 1002 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット 1074 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 関連論文 導入事例 1101 論文を探す 機能・用途 露光検査改質硬化・接着測定加熱・乾燥魅せる実験獲る守る・防ぐ育てる診断治療可視化除菌・脱臭洗浄配向その他 分野・業界 MEMS・電子部品半導体液晶・ディスプレイプリント基板・PKG機能材料自動車・船舶バイオ・化学医療・美容・創薬環境・衛生農漁業・食品エネルギー映像・シネマ印刷光学セキュリティ照明 キーワード 掲載誌：ライトエッジ2017 主に2015年下半期から2016年上半期の発表物を収集・掲載しました。 （2017年08月）
Improvement of Coherency of the Panel Level Package by Integrated Dry Process Shinichi Endo, Tomoyuki Habu, Akira Aiba, Hiroko Suzuki, Noritaka Takezoe, Hiroki Horibe, Kazuki Arikawa, Masaki Miura, Hajime Kikuiri, Shintaro Yabu Ushio Inc., 2016年10月アメリカパサデナで開催されたｉＭＡＰＳでの発表論文です。フォトデスミアとスパッタシードを組み合わせたインテグレーテッドドライプロセスの提案をパネルレベルパッケージ向けに初めて行いました。 Article published for iMAPS held in October 2016 in Pasadena, USA that presents the first proposal for an integrated dry process that combines photodesmearing and sputtered seed processes for panel level packages. 論文はコチラ（外部サイトへジャンプします）
