Surface Modification of Cyclo Olefin Polymer film for Electronic Packaging by Vacuum Ultraviolet Irradiation 

エキシマランプによるVUV照射（λ = 172 nm）は、ポリマー材料の表面を親水化することで、アンカー効果に頼らずに接着性を向上することが可能です。本研究ではVUV処理を用いてシクロオレフィンポリマーフィルムを表面改質し、接着強度への影響を評価しました。また、走査透過型電子顕微鏡を用いて、表面改質樹脂上のめっきの接着メカニズムについても調査しました。 


論文はコチラ（外部サイトへジャンプします）