紫外線(UV)/エキシマ照射装置

USHO

  

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照射パターン 波長 照射方法 照射エリア 装置種類

光配向 詳しく見る

並べる スキャン照射 一括照射 200nm~600nm
※ブロード波長
※別途偏光波長域あり

スキャン:幅100mm~3,000mm
面光源:80mm
     ・特注対応は要相談

  • R&D実験機 1.5kw

  • R&D実験機 6kw

  • 量産機照射器単体

  • 量産機照射器+Stage