洗浄・改質（一括照射）
| 照射パターン | 波長 | 照射方法 | 照射エリア | 装置種類 | |
|---|---|---|---|---|---|
 エキシマ 詳しく見る |
洗浄・改質 スキャン照射 一括照射 | 172nm,他 |   |
面光源：100～340mm ・特注対応の場合は 730mm×920mmまで可能 |
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紫外線（UV）/エキシマ/大気圧プラズマ照射装置
洗浄・改質（一括照射）
| 照射パターン | 波長 | 照射方法 | 照射エリア | 装置種類 | |
|---|---|---|---|---|---|
エキシマ 詳しく見る |
洗浄・改質 スキャン照射 一括照射 | 172nm,他 | |
面光源：100～340mm ・特注対応の場合は 730mm×920mmまで可能 |
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