並べる(一括照射)
照射パターン | 波長 | 照射方法 | 照射エリア | 装置種類 | |
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![]() エキシマ 詳しく見る |
洗浄・改質 スキャン照射 一括照射 | 172nm,他 | ![]() ![]() |
スキャン:100mm~3,500mm 面光源:□100~340mm ・特注対応の場合は □730mm×920mmまで可能 |
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![]() Deep UV |
硬める スキャン照射 一括照射 | 254,313,365,405 | ![]() |
Φ135mm |
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![]() 光配向 詳しく見る |
並べる スキャン照射 一括照射 | 200nm~600nm ※ブロード波長 ※別途偏光波長域あり |
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スキャン:幅100mm~3,000mm 面光源:□80mm ・特注対応は要相談 |
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