並べる（一括照射）
| 照射パターン | 波長 | 照射方法 | 照射エリア | 装置種類 | |
|---|---|---|---|---|---|
 エキシマ 詳しく見る |
洗浄・改質 スキャン照射 一括照射 | 172nm,他 |   |
スキャン：100mm～3,500mm 面光源：□100～340mm ・特注対応の場合は □730mm×920mmまで可能 |
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 Deep UV |
硬める スキャン照射 一括照射 | 254,313,365,405 | |
Φ135mm |
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 光配向 詳しく見る |
並べる スキャン照射 一括照射 | 200nm～600nm ※ブロード波長 ※別途偏光波長域あり |
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スキャン：幅100mm～3,000mm 面光源：□80mm ・特注対応は要相談 |
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