紫外線(UV)/エキシマ照射装置

USHO

エキシマ照射装置 Excimer lamps/Excimer irradiation units エキシマ

世界に先駆けて販売を開始した1993年以来、エキシマランプのトップメーカとして多くのお客様にご支持頂いております。
手頃な実験機から最先端のプロセス開発/生産設備まで幅広くサポートします。

  • 表面処理用エキシマ照射装置のご紹介
  • 1.様々なアプリケーションに対応:
    ドライ洗浄、親水化/濡れ性向上、密着性/接着性向上、アッシング/残渣除去など
  • 2.高いフォトンエネルギー(7.2eV):
    反応性の高い励起酸素原子(O3p、O1D)や各種ラジカルを短時間に生成することが可能
  • 3.低温処理:
    水銀を使用していないためランプ温度が低く、温度上昇に寄与する波長が少ない
  • 4.瞬時点灯:
    処理が必要なタイミングのみ点灯することでCoOが向上
  • 5.多彩なラインアップ:
    業界最高照度/最高露光量/長寿命のランプを提供。
    小型製品から長尺、実験機から自動搬送の生産設備まで対応
  • ヒータステージ/冷却ステージ

  • オゾンフィルタユニット

  • 酸素濃度モニタ

  • 環境オゾンセンサ

  • 照度計

  • 遮光/保護メガネの着用は必要ですか

    はい、遮光/保護メガネの着用を推奨します。
    172nmの光は大気中で急激に減衰しますが、長波長側の光も172nm強度の1/100程度出ています。
    低照度であればほぼ影響はありませんが、高照度/長時間使用などを想定した場合、
    遮光/保護メガネをご使用頂くことをお勧め致します。

  • N2のユーティリティは必須ですか

    必須のモデル、あると効率が良くなるモデル、不要のモデルがあります。
    ご使用環境/条件、処理速度などをご連絡頂けましたら、
    弊社より最適な製品の提案をさせて頂きます。

  • オゾン排気はどのように行ったらよいでしょうか

    ドラフターの中でご使用頂く、処理空間をダクトで局所排気する、などが一般的な手法です。
    ランプハウス/処理空間のパージガスも同様に排気が必要となります。
    安全に関わる仕様のため、詳細は設置に関わる注意事項をご確認いただき弊社営業担当へご相談下さい。

  • 照射実験/デモ機貸し出しは可能ですか

    可能です。照射実験を実施する場合は兵庫県姫路市の弊社Labで評価を行います。
    SEM、XPS、FT-IRなどの分析装置を保有しており
    評価機関よりも安価に表面分析を行うことが可能です。
    また、照射後の表面は変化しやすいため、照射後すぐに分析できる、というメリットもあります。

  • 大気雰囲気中でも洗浄効果は得られますか

    大気中でも洗浄効果を得ることは可能です。
    しかし、ランプから照射物までの距離を取りすぎると、光が到達せずに効果が落ちてしまいます。
    照射実験の際などは、照射距離の設定にご注意ください(推奨:2~4mm程度)
    雰囲気を制御することで、照射距離を伸ばす/立体物への照射も可能です。

  • 最適な雰囲気、照射距離はどれくらいですか?

    大気雰囲気の場合は2~4mm程度を推奨します。
    処理雰囲気中の酸素濃度を変える、照射距離を伸ばすなどの場合、
    最適なパラメータを見つけることが必要です。
    ご参考までにガラス基板の接触角変化についてのパラメータを掲載します。
    (縦軸:照射後の接触角/横軸:照射時の酸素濃度)

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