⼤気圧プラズマ照射装置ドライ洗浄をより簡便に
エキシマランプで培った⾼周波電源技術に弊社独⾃のリアクタ構造を組み合わせた⼤気圧プラズマ照射器を開発しました。
- Lamina 3A
- Lamina 5
- 1.電源一体によるスリム設計
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エキシマランプで培った高周波電源技術に、
ウシオ独自のリアクタ構造を組み合わせた照射装置。 - 2.低温処理∕低ダメージ
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低温処理が可能であり、耐熱性の低い樹脂やフィルム機材への照射に有効。
冷却効率の高さから、プロセスガスのみでリアクタの冷却が可能。 - 3.⻑寿命‧⾼い信頼性
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・熱膨張の影響が少なく、割れに強い独自構造のリアクタ
・累計：5000台以上の出荷実績をもつ信頼性の高い高周波電波
- 1.独自電極構造によりスリム化/コンパクト化を実現
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独自電極構造によるスリム化/コンパクト化を実現した照射装置。
従来設置できなかった狭小エリアへの設置も可能。 - 2.低温処理∕低ダメージ
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低温処理が可能であり、耐熱性の低い樹脂やフィルム機材への照射に有効。
冷却効率の高さから、プロセスガスのみでリアクタの冷却が可能。 - 3.⻑寿命‧⾼い信頼性
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・熱膨張の影響が少なく、割れに強い独自構造のリアクタ
・累計：5000台以上の出荷実績をもつ信頼性の高い高周波電波
