ICパッド

integrated circuit pad あいしーぱっど

解説

ICパッドとは、半導体集積回路の電極のこと。
ワイヤボンディングに使用されるパッドやFC-BGA( Flip Chip-BGA)のように、ICパッド上に半田電極や金バンプを形成して、直接接続する場合もある。
BGAを参照。

※ICパッドには、接続する状況に合わせて、バリア層のチタンやニッケル、パラジウム、金などがスパッタリングやめっきによって形成されている。
※電極パターンの形成に、ウシオ電機製の投影露光装置(ステッパ)が使用されている。