超高圧水銀ランプ(超高圧UVランプ)

Super-high pressure mercury (vapor) lamp ちょうこうあつすいぎんらんぷ(ちょうこうあつゆーぶいらんぷ)

解説

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超高圧水銀ランプ(超高圧UVランプ)とは、106~数107Paの水銀蒸気中のアーク放電の発光を利用する放電ランプのこと。
ショートアーク形とロングアーク形があり、分光分布は、紫外から赤外まで分布し、水銀の蒸気圧が高くなるに従い連続スペクトルが増える。

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  • ショートアーク形
    発光管(石英ガラス球)の中央付近に、一対の電極が短い間隔で配置され、その中に水銀が封入されている。点灯中の水銀の蒸気圧は 106~2×107Paにも達し、高輝度の点光源となる。
    光学顕微鏡、光学機器、フォトエッチング、製版、焼付、フォトリソグラフィ露光)、データプロジェクタなどに使用される。
  • ロングアーク形
    発光管(棒状の石英ガラス管)の両端に、一対の電極が配置されている。点灯中の水銀の蒸気圧は5×106~2×107Paにも達する。ランプは強制空冷または水冷される。毛細管形超高圧水銀ランプ(キャピラリーランプ)はロングアーク形である。CRTの蛍光体焼付、製版、半導体・ICなどのフォトエッチングなどに使用される。

キャピラリーランプを参照。