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製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
Plant Patroller(ワイヤレスセンサーネットワークシステム) 現場の環境を遠隔からリアルタイムで確認・管理するワイヤレスセンサーネットワークシステムです。親機は3G回線でWEBにデータを上げる機能を有します。 現場で測定した温度やCO2濃度などのデータをサーバー上で管理し、様々な機能・サービス(警報メール通知など)を利用することができます。過去5年間のデータの確認が可能となっております。様々な分野で応用いただける技術です。 技術紹介ページへ 本技術にご興味がある方はこちらまでお問合せください お問い合わせフォームへ
電源修理サービス 各種電源の修理を承っております。中国、韓国、台湾に修理業務体制を整えており、電源の故障等のトラブルが発生した際、日本に送り返すことなく現地で解決することが可能です。保守修理の際にはお気軽にご相談ください。 技術紹介ページへ 本技術にご興味がある方はこちらまでお問合せください お問い合わせフォームへ
ウシオの環境衛生向けUVソリューション ウシオは光と自然界に存在するものだけを使ったクリーンな新技術によって、安心・安全な空間を目指します。
LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED  Multi 「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、 i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、 LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。
実験・評価用インバータ 幅広い電力、サイズのエキシマ光172nm / 222nmランプに適応したインバータをラインアップしました。 出力電力、周波数などが変更できる拡張性を重視した設計となっており、実験・評価用として最適です。 お客様の早期の実験・検討に貢献できるようにデリバリー重視の試作生産体制を整えています。 技術紹介ページへ 本技術にご興味がある方はこちらまでお問合せください お問い合わせフォームへ
test オールインワン オンサイト卓上検査装置 ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。 光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
光配向装置 ウシオの光配向技術は、高い偏光・光学・機械設計技術を駆使しており、お客様に最適な装置を提案することが可能です。 254nm、313nm、365nmを始めとした、様々な材料感度に最適な光学部品を有しております。 また、ハイパワー入力による高露光量、高均一度照射も特徴です。 小型から大型まで、お客様のワークに合った装置をご提案します。
各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 ウシオのUV-LEDは高照度、高積算光量、長寿命、低電力、瞬時点灯/瞬時消灯を実現。 弊社はこれまで培った光学技術や冷却技術を用いた自由度のある設計が特徴です。 電源や制御部を含めたトータル提案を行い、紫外線に関わるあらゆる問題を解決するシステムを提供させて頂きます。
大気圧プラズマ用 リアクター 長年に渡るランプで培った製造技術を応用し、大気圧プラズマリアクターを開発いたしました。軽量で低消費電力ながら高い表面改質効果が得られます。弊社独自のDBD方式により低パーティクルでクリーンなプラズマが発生し、ポリプロピレン(PP)や液晶ポリマー(LCP)、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)など様々な素材へ対応可能です。プラズマ照射幅もご要望に応じてカスタマイズし、電源とのセットで装置としてのご提供も可能です。
ウシオのレーザーダイオード ウシオのレーザーは、光における40年以上の豊富な経験に裏打ちされた確かな技術をベースに、ディスプレイ&エンターテインメント、メディカル&ヘルスケア、 センシング&メジャメント(センサー、レベラー、プリンター用)、リソグラフィ(DI用)など様々なアプリケーション向けに、青紫~赤外波長帯まで幅広い製品ラインナップでお客様のご要望にお応えします。
LED素子/パッケージ ウシオのチップ技術(設計・エピタキシャル成長・デバイスプロセス)とパッケージ技術(工学設計・熱設計)を最大限に活用したLED素子/パッケージです。 お客様の新製品や新プロジェクトの開発の初期段階から協業します。カスタム対応も可能です。
抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置「Care222® i(アイ)シリーズ」 有人環境でも使用可能な抗ウイルス・除菌技術「Care222®」を搭載した紫外線照射装置です。 一般的な照明器具に近い設置が可能で、従来の紫外線照射装置では出来なかった、有人環境での“環境表面と空気”の抗ウイルス・除菌を実現しました。
透過型回折格子 回折格子は、多波長の光が重ね合わされた光(白色光源)からの放射を波長ごとに分光する波長分散用光学素子です。 ウシオでは、これまで培ってきた光源・光学・露光技術を活かし、微細加工技術を応用した光学素子の開発に取り組んでいます。 8インチの合成石英ウエ―ハ表面にフォトリソプロセスにより微細構造を形成し、表面レリーフ型の透過型の回折格子を製作いたします。 なお、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
マイクロレンズアレイ マイクロレンズアレイ(Micro Lens Array)は㎛オーダーの大きさのレンズが面上に配列した光学レンズの一種で、設計に応じて光を集光、拡散、平行化、均一化することができます。 またレンズの大きさが㎛オーダーであるため、集光距離は㎜オーダーとなり、システムの小型化や薄型化が可能です。 例えば集光用途では、カメラレンズから取り込んだ光をイメージセンサ―にマイクロレンズアレイで集光させることで、個々の画素に正確な光情報を集めることが来ます。また、拡散用途では微小光源から放射された光を効率よく拡散させることが可能になります。 ウシオでは、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
ウシオの光加熱(サーマルプロセス)ソリューション ウシオのサーマルプロセス向け光加熱製品(ハロゲンランプヒータ、フラッシュランプ、LEDユニット)および関連技術をご紹介しています。
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」

ウシオでは、サーバーやPC、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

投影露光装置「UX-4シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

マスクアライナー「UX-1シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) 半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。
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