製品一覧
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| 製品名 | 製品説明 | 主な用途・分野 | 波長 | ||
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光配向装置 | ウシオの光配向技術は、高い偏光・光学・機械設計技術を駆使しており、お客様に最適な装置を提案することが可能です。 254nm、313nm、365nmを始めとした、様々な材料感度に最適な光学部品を有しております。 また、ハイパワー入力による高露光量、高均一度照射も特徴です。 小型から大型まで、お客様のワークに合った装置をご提案します。 |
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各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 | ウシオのUV-LEDは高照度、高積算光量、長寿命、低電力、瞬時点灯/瞬時消灯を実現。 弊社はこれまで培った光学技術や冷却技術を用いた自由度のある設計が特徴です。 電源や制御部を含めたトータル提案を行い、紫外線に関わるあらゆる問題を解決するシステムを提供させて頂きます。 |
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ウシオのレーザーダイオード | ウシオのレーザーは、光における40年以上の豊富な経験に裏打ちされた確かな技術をベースに、ディスプレイ＆エンターテインメント、メディカル＆ヘルスケア、 センシング＆メジャメント（センサー、レベラー、プリンター用）、リソグラフィ（DI用）など様々なアプリケーション向けに、青紫～赤外波長帯まで幅広い製品ラインナップでお客様のご要望にお応えします。 |
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LED素子／パッケージ | ウシオのチップ技術（設計・エピタキシャル成長・デバイスプロセス）とパッケージ技術（工学設計・熱設計）を最大限に活用したLED素子／パッケージです。 お客様の新製品や新プロジェクトの開発の初期段階から協業します。カスタム対応も可能です。 |
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ウシオのレーザーモジュール | レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。 |
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μLens テクノロジー | 標準的なレーザーダイオードは、出射光の速軸(fast axis)と遅軸(slow axis)の間に非対称なアスペクト比を持っており、しばしばこの比は3：1にもなります。 Blue Sky Research社はこのレーザーダイオード特有の制限を克服するために、ミクロンサイズのレンズ（μLens）をレーザーダイオードのすぐ近くに正確に挿入することでビームのアスペクトレシオを小さくすると同時に収差を補正する技術を有しています。 ΜμLensにより補正されたビームは理想的なガウシアンビームとなり非点収差も補正されているため、特にシングルモードファイバへ結合に置いて高い効率を得られるメリットがあります。 |
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VPSL | Blue Sky Research社のVPSL（Virtual Point Source Laser）は、µLensをレーザーダイオードに挿入することで、低発散、円形、回折限界のビームを出力するレーザーです。この良好なビーム特性により、VPSLは、シングルモード光ファイバーへの可視光領域で最大80%以上の結合効率を実現します。 VPSLは理想的なガウシアンビームを出力するため、ファイバー結合のみならず、空間光を使用する場合もビーム整形のための光学系を大幅に減らすことが可能。システムコスト・サイズの低減に寄与します。VPSLは標準的なレーザーダイオードと全く同じパッケージ（TO-56またはTO-9）を採用しています。ご使用のレーザーダイオードをVPSLTMに容易に置き換えた設計が可能です。 |
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FiberMax | Blue Sky Research社のFiberMaxはシングルモードファイバー出力のレーザーモジュールであり、数十万ユニットの製造実績があります。独自技術のμLensにより高いファイバー結合効率を誇ります。FiberMaxの結合光学系は極めてシンプルであり、小型のケーシングを採用しています。この小さくシンプルな構造は良好な熱安定度にも寄与します。温度変化に対するビーム位置変化が極めて少なく、極めて堅牢なシステムを構築可能です。405nm～830nmの標準品をラインナップ。出力ファイバには偏光保持ファイバーも選択可能です。その他の波長・出力についてもカスタマイズが可能です。 |
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FiberTec | Blue Sky Research社のFiberTecはシングルモードファイバー出力のレーザー光源に精密なドライバーとTEC温調をインテグレートしたモジュールです。μLensによりファイバー結合光学系が極めて小さく堅牢であるため、FiberTecモジュールも81×24mmとコンパクトなフットプリントです。複数波長レーザーの搭載を含めシステムのサイズダウンに寄与します。 オプションのFiber feedback collimator(FFC)は出力ファイバーの先端の光出力をコリメーションしながら出力モニターフィードバック制御ができるユニークな機能を持ちます。 405~980nmの製品を標準ラインナップ。その他の波長・出力もご相談ください。 |
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SpectraTec | Blue Sky Research社のSpectraTecシリーズは、最大4波長を搭載し、高精度ドライバーによる独立駆動、TEC温調、光学的な結合を経てのシングルモードファイバー出力を高度にインテグレートしたシステムです。上位機器との通信制御のための37ピン・インターフェイスコネクタも備えながら、フットプリントは165×125mmのコンパクトさです。オプションのFiber feedback collimator(FFC)は出力ファイバーの先端の光出力をコリメーションしながら出力モニターフィードバック制御ができるユニークな機能を持ちます。 405~980nmの標準ラインナップ波長から最大4波長を選択できます。その他の波長・出力もご相談ください。 |
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MiniLase | Blue Sky Research社のMiniLaseファミリーは、OEM向けにコンパクトなパッケージで優れたビーム品質のコリメーションビームまたは集光ビームを出力するモジュールです。独自のμLensテクノロジーを使った仮想点光源レーザー(VPSL)と光学素子、駆動エレクトロニクスをコンパクトにパッケージ。VPSLの採用により円形の回折限界ガウシアンビームプロファイルを出力します。波長405～980nmを標準ラインナップ。その他波長・出力のカスタマイズに加え、ビーム形状、ドライブ回路、出力安定化機能(APC)、コネクタ配置など様々な組合せが可能です。 |
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MiniLase plus | MiniLase PlusはBlue Sky Research社のMiniLaseファミリーの新製品で、特に厳しい環境下での使用を想定しIP67規格の防塵・防水構造となっています。産業機器、バイオメディカルツール、マシンビジョンシステムなど、幅広いアプリケーションでの照準、位置合わせ、ポインティングに最適です。MiniLase同様、独自のμLensテクノロジーを使った仮想点光源レーザー(VPSL)の採用により円形の回折限界ガウシアンビームプロファイルを出力します。波長405～980nmを標準ラインナップ。その他波長・出力のカスタマイズに加え、ビーム形状、ドライブ回路、出力安定化機能(APC)、外部信号による変調オプション(~100kHz)、コネクタ配置など様々な組合せが可能です。 |
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Chromalase | Chromalaseファミリーは、医療、ライフサイエンス、計測機器等のアプリケーションに要求されるレーザー駆動、保護、アラーム、変調、フィードバック機能を搭載したコンパクトモジュールです。12VDCの供給のみで低ノイズドライバとTEC温調による安定したレーザー出力を得られます。さらにBlue Sky Research社独自のμLensテクノロジーを使用した仮想点光源レーザー(VPSL)も搭載可能。円形の回折限界ガウシアンビームプロファイルを出力します。375~785nmを標準ラインナップ。共焦点顕微鏡、フローサイトメトリ眼底スキャナ等各種波長の精密なレーザービームが要求されるアプリケーションに最適です。 |
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分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 | ウシオでは、サーバーやＰＣ、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。 【要素技術】
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投影露光装置「UX-4シリーズ」 | ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。
【要素技術】 |
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プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 | 本製品は生産終了となりました。
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB）
代替品はこちら→オート機 ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。 |
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マスクアライナー「UX-1シリーズ」 | 本製品は生産終了となりました。
マスクアライナー「UX-1シリーズ」生産終了のご案内(396KB）
代替品はこちら→マニュアル機 ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。 |
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ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 | 累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。 【要素技術】 |
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紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 | 紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。 超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください |
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チャージイレース装置 | 強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください |
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スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」 | 約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」は、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮。ラインやワークの条件に合わせ、レンズやユニットなどもオプションも豊富に取り揃えています。 取扱説明書やトラブルシューティング、外観図CADデータはこちら （会員登録が必要です） |
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