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MEMS・電子部品の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

表面処理用エキシマ照射装置のご紹介

■取扱説明書や仕様書はこちら(会員登録が必要です)

電源修理サービス 各種電源の修理を承っております。中国、韓国、台湾に修理業務体制を整えており、電源の故障等のトラブルが発生した際、日本に送り返すことなく現地で解決することが可能です。保守修理の際にはお気軽にご相談ください。 技術紹介ページへ 本技術にご興味がある方はこちらまでお問合せください お問い合わせフォームへ
LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED  Multi 「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、 i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、 LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。
実験・評価用インバータ 幅広い電力、サイズのエキシマ光172nm / 222nmランプに適応したインバータをラインアップしました。 出力電力、周波数などが変更できる拡張性を重視した設計となっており、実験・評価用として最適です。 お客様の早期の実験・検討に貢献できるようにデリバリー重視の試作生産体制を整えています。 技術紹介ページへ 本技術にご興味がある方はこちらまでお問合せください お問い合わせフォームへ
test オールインワン オンサイト卓上検査装置 ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。 光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 ウシオのUV-LEDは高照度、高積算光量、長寿命、低電力、瞬時点灯/瞬時消灯を実現。 弊社はこれまで培った光学技術や冷却技術を用いた自由度のある設計が特徴です。 電源や制御部を含めたトータル提案を行い、紫外線に関わるあらゆる問題を解決するシステムを提供させて頂きます。
透過型回折格子 回折格子は、多波長の光が重ね合わされた光(白色光源)からの放射を波長ごとに分光する波長分散用光学素子です。 ウシオでは、これまで培ってきた光源・光学・露光技術を活かし、微細加工技術を応用した光学素子の開発に取り組んでいます。 8インチの合成石英ウエ―ハ表面にフォトリソプロセスにより微細構造を形成し、表面レリーフ型の透過型の回折格子を製作いたします。 なお、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
マイクロレンズアレイ マイクロレンズアレイ(Micro Lens Array)は㎛オーダーの大きさのレンズが面上に配列した光学レンズの一種で、設計に応じて光を集光、拡散、平行化、均一化することができます。 またレンズの大きさが㎛オーダーであるため、集光距離は㎜オーダーとなり、システムの小型化や薄型化が可能です。 例えば集光用途では、カメラレンズから取り込んだ光をイメージセンサ―にマイクロレンズアレイで集光させることで、個々の画素に正確な光情報を集めることが来ます。また、拡散用途では微小光源から放射された光を効率よく拡散させることが可能になります。 ウシオでは、シミュレーターによる光学設計から、マイクロレンズアレイの加工、納品に至るまでワンストップでご提供可能です。
ウシオの光加熱(サーマルプロセス)ソリューション ウシオのサーマルプロセス向け光加熱製品(ハロゲンランプヒータ、フラッシュランプ、LEDユニット)および関連技術をご紹介しています。
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」「UX-7シリーズ」

ウシオでは、サーバーやPC、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

投影露光装置「UX-4シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

マスクアライナー「UX-1シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系

ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載
・高い均一度を誇る独自の照射光学系
・他に類を見ない大面積投影レンズ

多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」 Deep UVマルチライトは均一・平行光源として豊富な実績のあるマルチライトシリーズの基本構成はそのままに波長230nm~330nmのDeep UV領域に最適化した光源ユニットです。 リソグラフィー用途はもちろん、表面改質光源、各種光化学反応評価光源としても応用頂けます。
超高圧UVランプ(500W~35kW) 超高圧UVランプ(500W~35kW) 装置メーカーとの共同開発体制を背景に、デバイスメーカーのさまざまな要望に応える開発を進め、高い評価と信頼を得ているリソグラフィ用UVランプです。 500w~35kwクラスまでの幅広いラインナップで、生産性向上・歩留まり改善などに最適な光をご提案します。また、お客さまの新規装置開発にあわせたランプ開発も承ります。 ■取扱説明書はこちら(会員登録が必要です) ■よくあるご質問はこちら
フラッシュランプアニール 瞬間加熱・高温焼成 フラッシュランプアニール UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの光により、数百μsec~数十msecの点灯時間で、基板・材料の表面へ非接触・瞬間加熱を実現。 Si/SiCウェーハ、ガラス、プラスチックフィルム、フレキシブル基板など多様な研究開発から生産(製造)ライン用途まで適用が可能です。
UV-LED 均一面照射光源「UniField」 UV-LED 均一面照射光源「UniField」 ・複数波長から選択可能な、大面積、高照度で均一性の高いUV-LED照射ユニット。 ・ウシオ独自のレンズを搭載することで、照射距離が伸びることによる照度低下を抑えることに成功。  厚みの異なる様々なワークへも微調整なしに照射が可能です。 ・□100、150、200を標準サイズとしてラインナップ ・複数波長混合タイプも設計可能です。
紫外線照度計「UIT-201」 紫外線照度計「UIT-201」 光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄・殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です) 弊社製紫外線照度計(UIT-201シリーズ)用受光器シリアル番号表記方法変更のご案内(382KB)
紫外線積算光量計「UIT-250」 紫外線積算光量計「UIT-250」 光の専門メーカーとしての経験と実績から生まれた「ユニメーターシリーズ」。ユーザーの立場から「本当の使いやすさ」をカタチにした、コンパクトな光測定器です。照光装置、UVキュアリング、洗浄・殺菌装置など、ご要望に応じた照度管理をご提案します。 ■校正のお申し込みはこちら ■トラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
薄型紫外線照度計「UIT-θシリーズ」 紫外線薄型照度計「UIT-θシリーズ」 薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプの照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら(会員登録が必要です)
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