製品一覧
““の検索結果
| 製品名 | 製品説明 | 主な用途・分野 | 波長 | ||
|---|---|---|---|---|---|
 |
光配向装置 | ウシオの光配向技術は、高い偏光・光学・機械設計技術を駆使しており、お客様に最適な装置を提案することが可能です。 254nm、313nm、365nmを始めとした、様々な材料感度に最適な光学部品を有しております。 また、ハイパワー入力による高露光量、高均一度照射も特徴です。 小型から大型まで、お客様のワークに合った装置をご提案します。 |
|
|
|
 |
各種製造プロセス向けUV-LED照射装置 | ウシオのUV-LEDは高照度、高積算光量、長寿命、低電力、瞬時点灯/瞬時消灯を実現。 弊社はこれまで培った光学技術や冷却技術を用いた自由度のある設計が特徴です。 電源や制御部を含めたトータル提案を行い、紫外線に関わるあらゆる問題を解決するシステムを提供させて頂きます。 |
|
|
|
 |
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 | ウシオでは、サーバーやＰＣ、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。 【要素技術】
|
|
|
|
 |
投影露光装置「UX-4シリーズ」 | ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。
【要素技術】 |
|
|
|
 |
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 | 本製品は生産終了となりました。
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB）
代替品はこちら→オート機 ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。 |
|
|
|
 |
マスクアライナー「UX-1シリーズ」 | 本製品は生産終了となりました。
マスクアライナー「UX-1シリーズ」生産終了のご案内(396KB）
代替品はこちら→マニュアル機 ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。 |
|
|
|
 |
ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 | 累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。 【要素技術】 |
|
|
|
 |
紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 | 紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。 超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください |
|
|
|
 |
チャージイレース装置 | 強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。 本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。 2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。 詳細はこちらをご覧ください |
|
|
|
 |
スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」 | 約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」は、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮。ラインやワークの条件に合わせ、レンズやユニットなどもオプションも豊富に取り揃えています。 取扱説明書やトラブルシューティング、外観図CADデータはこちら （会員登録が必要です） |
|
|
|
 |
露光装置用光源ユニット 「マルチライト」 | 均一照射光源として、精密パターン露光、半導体素子デバイスのパターン露光、ウェハ露光など、さまざまな用途に使用されます。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】 |
|
|
|
 |
超高圧UVランプ（～500W) | ウシオの超高圧UVランプは、紫外線波長の中でも、特に3線（436nm・405nm・365nm)を有効に活用できるように開発されており、長寿命で安定した放射照度を持つ高輝度光源です。 アークサイズが極めて点光源に近いため、光学系での光の集中・拡散が容易で、均一な照度分布が得られます。 |
|
|
|
 |
超高圧UVランプ（500W～35kW） | 装置メーカーとの共同開発体制を背景に、デバイスメーカーのさまざまな要望に応える開発を進め、高い評価と信頼を得ているリソグラフィ用UVランプです。 500w～35kwクラスまでの幅広いラインナップで、生産性向上・歩留まり改善などに最適な光をご提案します。また、お客さまの新規装置開発にあわせたランプ開発も承ります。 ■取扱説明書はこちら（会員登録が必要です） ■よくあるご質問はこちら |
|
|
|
 |
クセノンショートアークランプ（～500W） | クセノンランプは、キセノンガスを封入した高輝度な点光源です。 可視域～赤外域までに昼光に類似した連続スペクトルを有し、演色性に優れています。 ソーラーシミュレーターやウェザーメーター、さらに分光分析や顕微鏡などの各種計測機器用光源として活用されています。 |
|
|
|
 |
Deep UVランプ | キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。 230nm～320nm付近の中紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。 |
|
|
|
 |
面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」 | ウシオの「UniCube Mシリーズ」は、UV感光樹脂を用いた接着・硬化・剥離用途で使用される面一括照射タイプのUV-LED照射器です。 前後左右4方向に連結させるセミカスタオーダー方式を採用することで、面一括照射タイプでご要望の多い様々なワークサイズへの対応や高い照度による高スループット、 早期復旧・高いメンテナンス性がご提供可能になりました。 各種サイズのデモ機をご用意しておりますので、お客様のワークを用いた照射実験が可能です。 UVランプからの置き換えや新規プロセスへのご検討に、是非ご活用ください。 |
|
|
|
 |
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」 | ウシオのUniJetシリーズは、紫外線硬化や印刷に関わる市場の厳しい要求を満たすために最適に設計・開発されたUV-LEDモジュールです。
UniJetシリーズは従来の標準的なUVランプの代替として求められていた理想的な光源であり、このモジュールが併せ持つ水冷、空冷、調光の様々な機能によって、それぞれのお客様が求める仕様やニーズを確実に実現することができます。
『ラベル新聞』2022年3月15日号 PDF（1.25MB） |
|
|
|
 |
紫外線薄型照度計「UIT-θシリーズ」 | 薄さ4.9mm、ワイヤレスタイプの照度計です。 光学フィルムのコーティング、精密部品やレンズの接着、UV印刷の工程など光源部と照射対象物の距離が狭い環境下でも測定することができます。 ■校正のお申し込みはこちら ■取扱説明書やトラブルシューティングはこちら（会員登録が必要です） |
|
|