製品一覧

「安全」をキーワードに防災、防犯に貢献する照明機器として、工場の外周監視、夜間の施設監視、交通監視といったセキュリティ用途や、動植物の生態監視に利用される赤外線投光器をはじめ、注意を喚起する警告灯などを取りそろえています。
【この製品は、ウシオライティングの製品です】

ウシオでは、サーバーやＰＣ、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ ・基板特有の歪に対応したアライメント技術

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧ＵＶランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

表面処理用エキシマ照射装置のご紹介

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