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SPIE, 2007 International EUVL Symposium

High-power DPP EUV source
development toward HVM 2008
  • 投影・バックライト

⌈EUV光源の開発と応用⌋シーエムシー出版

放電プラズマEUV光源（DPP） 2008
  • 投影・バックライト

平成18年度 EUV露光技術研究成果報告会

DPP方式EUV光源の開発 2008
  • 投影・バックライト

NGL 2007

実用化に向けたDPPの開発
Development of Discharge Produced Plasma EUV Source 2008
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2007 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

Progress on DPP source
development towards HVM 2008
  • 投影・バックライト

2008.6 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-25)

Techniques for Measuring Rate Constants for Acid
Generation from PAG (Photo Acid Generator)
during ArF Exposure 2008
  • 投影・バックライト

2008.6 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-25)

A Study of Photoresist Pattern Freezing for Double Imaging
using 172nm VUV Flood Exposure 2008
  • 投影・バックライト

日本学術振興会第162委員会 第61回研究会（日本学術振興会）

紫外光源の応用 2009
  • 投影・バックライト

電子材料 10月号(工業調査会)

ステップ＆リピート投影露光装置
「ＵＸ－５シリーズ」 2010
  • 投影・バックライト

東京大学CORAL事業 教科書

VUV～UV光の発生方法と
その応用 2010
  • 投影・バックライト

Electronic Journal 第229回 Technical Symposium（電子ジャーナル）

ロール toロール型FPC露光装置の
最新動向 2010
  • 投影・バックライト

電子ジャーナル10月号（電子ジャーナル）

ロールtoロール露光装置 最新動向 2011
  • 投影・バックライト

月刊オプトロニクス12月号（オプトロニクス社）

EUV光源の開発状況 2011
  • 投影・バックライト

第12回プリント配線板EXPO 専門セミナー

ロールtoロール露光装置の最新動向 2011
  • 投影・バックライト

2011.3　SPIE Advanced Lithography 2011

Tin LDP Source Collector Module (SoCoMo)
ready for integration into Beta scanner 2011
  • 投影・バックライト

2011.3　SPIE Advanced Lithography 2011

Development of debris-mitigation tool
for HVM DPP source 2011
  • 投影・バックライト

2011.3　SPIE Advanced Lithography 2011

Sn film and ignition control for performance enhancement
of laser-triggered DPP source * 2011
  • 投影・バックライト

2011マイクロマシン／MEMS技術大全（電子ジャーナル）

ウシオの露光装置 2011
  • 投影・バックライト

次世代半導体のEUV光源を用いたリソグラフィ法

EUV露光用LDP光源技術 2012
  • 投影・バックライト

半導体実装基板用・LEDディバイス用の露光技術

投影露光装置「UX シリーズ」を中心にした
基本モジュール設計の考え方 2012
  • 投影・バックライト

LCD 向け TAB・COF用露光技術

LCD製造の技術動向と、TAB/COF用露光装置最新技術 2012
1101
2024年(0)
2023年(0)
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1997年(0)
1996年(0)
1995年(0)
露光装置用光源ユニット 「マルチライト」
検査用光源ユニット「arctruth　（旧オプティカルモデュレックス、230VILS）」
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット
チャージイレース装置
プリンティング市場向けハロゲンヒーター
Barcoシネマプロジェクター用クセノンランプ
データプロジェクタ用ランプ
超高圧UVランプ（500W～35kW）
紫外線照度計「UIT-201」
紫外線積算光量計「UIT-250」
分光反射率計「URE-60」
分光放射照度計「USR-45シリーズ」
紫外線薄型照度計「UIT-θシリーズ」
クセノンショートアークランプ（～500W）
超高圧UVランプ（～500W)
Deep UVランプ
コンパクトクセノンランプ
光化学反応用実験装置
理化学機器用光源ユニット「オプティカルモデュレックス」
マスクアライナー「UX-1シリーズ」
プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」
投影露光装置「UX-4シリーズ」
ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」
EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け)
照明用LED電球
照明用ハロゲンランプ
照明用クセノンランプ
集魚灯
警告灯
一般施設照明
景観・ディスプレイ照明
ステージ演出照明
バンケット演出照明
海洋・漁業照明
植物育成用照明
セキュリティ用照明
プラスチック射出成形機
金型監視装置
継手・配管
プラスチック樹脂
ファクトリーオートメーション
デジタルシネマ用プロジェクターおよび関連機器
音響システム
シネマサーバ
会議室・大ホール向けプロジェクターおよび関連機器
3D（立体視）向けプロジェクターおよび関連機器
シミュレーション用プロジェクターおよび関連機器
コントロールルーム（監視制御）向け映像機器
バーチャルリアリティ（VR）用プロジェクターおよび関連機器
デジタルサイネージ向け映像機器
イベント・ レンタルステージ用プロジェクターおよび関連機器
ハロゲンランプヒータ
多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
瞬間加熱・高温焼成 フラッシュランプアニール
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」
スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」
紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」
面照射UV-LED照射器「UniCube Mシリーズ」
印刷用UV-LED「UniJetシリーズ」
ライトガイド式 画像処理用ライン光源
紫外線治療器「セラビームシリーズ」
可視化用シートビームレーザー光源
光オゾン脱臭・除菌装置「XEFIRIA（ゼフィリア）」
SONYシネマプロジェクター用クセノンランプ
NECシネマプロジェクター用クセノンランプ
高度清浄加湿装置「うるおリッチ」
光微細加工
ウシオの環境衛生向けUVソリューション
LED方式平行光UV照射ユニット　UV-LED  Multi
オールインワン オンサイト卓上検査装置
光配向装置
各種製造プロセス向けUV-LED照射装置
405nm ファイバー出射型レーザーダイオード照射機 【お客様への貸し出しのご案内】
大気圧プラズマ用　リアクター
ウシオのレーザーダイオード
LED素子／パッケージ
抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置「Care222®　i（アイ）シリーズ」
ウシオの光加熱（サーマルプロセス）ソリューション
Hyperion Laser Illumination Systems
Necsel NovaLum 1200
Necsel NovaLum 250
Necsel NovaLum　IR-RGB-V
Blue 445 5.5W Laser
Blue 445 10W Laser
Blue 465 4.6W Laser
Blue 465 9W Laser
VHP Blue 445 Laser
VHP Blue 465 Laser
Necsel NovaTru Chroma 633 SLM
Necsel NovaTru Chroma 647
Necsel NovaTru Chroma 780
Necsel NovaTru Chroma 785
Necsel NovaTru Chroma 830
Necsel NovaTru™ Power 375
Necsel NovaTru™ Power 488
Necsel NovaTru™ Power 515
Necsel NovaTru™ Power 520
Necsel NovaTru™ Power 633
Necsel NovaTru™ Power 637
Necsel NovaTru™ Power 660
Necsel NovaTru™ Power 785
Necsel Green 525 5W Laser
Necsel Green 525 3.5W Laser
VHP　Green Laser 525
NECSEL SHG GREEN LASER 52X
NECSEL SHG GREEN LASER 53X
NECSEL SHG GREEN LASER 54X
NECSEL SHG GREEN LASER 55X
Necsel Yellow Laser 577 NM
Necsel Red Laser 63x
Necsel MDP Red Laser 637
Necsel Red 65x 7W Laser
VHP Red 637 Laser 
DEVELOPER'S　KIT
Direct Diiode DEVELOPER'S　KIT
SHG Developer’s Kit
DEVELOPER'S　KIT(Thermai Platform)
TRANSPORT FIBER(400μm 0.22NA)
TRANSPORT FIBER(600μm 0.22NA)
TRANSPORT FIBER(1mm)
COLLIMATIONLENS
MATING BARREL
HOMOGENIZING ROD
ウシオのレーザーモジュール
高輝度白色光発生技術(LDP)とは？
マルチカラーレーザーモジュール　Novalumの波長カスタム
25W 青色レーザーモジュール
高輝度白色光発生技術「LDP」の特長は？
ウシオの固定式蛍光体プレート
高輝度白色光だからできること
高輝度白色光のアプリケーション
15,000ルーメン高輝度白色光源モジュール
スペクトル設計自在なLDP+LEDハイブリッド光源
Care222® 抗ウイルス・除菌用UV光源モジュール
Organs On Chip（OoC）
Necsel NovaTru Chroma 785/830　High power
超小型高輝度白色光源
μLens　テクノロジー
VPSL
FiberMax
FiberTec
SpectraTec
MiniLase
MiniLase plus
Chromalase
高密度実装マルチチップLEDパッケージ(MACs)
TECビルトインTO-56パッケージ
TECビルトインバタフライパッケージ
[開発中]　バイオメディカル用V/C/R 3波長超小型パッケージ（Bio-TOSA)
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