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平成8年電気学会全国大会 講演論文集
平成8年電気学会全国大会127 沿面放電型エキシマランプの基礎研究 (4)
Fundamental studies on an excimer lamp with a surface discharge (4) 1996
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月刊ポリファイル Vol.3, No.385
有機非線形光学材料の新展開波長のマニピュレーション エキシマ光によるプラスチック表面への
官能基置換と非線形性発現の可能性 1996
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宮崎大学工学部研究報告 第41号
無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプの開発Vacuum Ultraviolet Rare Gas Excimer Lamps Excited by Silent Discharges 1996
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1996(平成8年)秋期応用物理学会(九州産業大学)
8p-L-16エキシマランプによるSiウエハのUV/オゾン洗浄中の表面反応解析
Analysis of chemical reactions during UV/ozone cleaning of Si surfaces by eximer lamp 1997
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レーザー学会学術講演会第18回年次大会
レーザー学会学術講演会第18回年次大会23a IV3
誘電体バリア放電エキシマランプを用いた薄膜形成
Thin Film Preparation with Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer lamps 1998
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IAS(IEEE Industry application society)2004 Annual Meeting
Recent progress on UV lamps for industries 2006- 投影・バックライト
2007.11 Fifth international symposium on control of semiconductor interfaces
Role of UV Irradiation during Si Etching Process in Chlorine Plasma 2008- 投影・バックライト
2008.6 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-25)
Techniques for Measuring Rate Constants for AcidGeneration from PAG (Photo Acid Generator)
during ArF Exposure 2008